En vakuumpumpe refererer til en enhet eller utstyr som bruker en mekanisk, fysisk, kjemisk eller fysisk-kjemisk metode for å evakuere en pumpet beholder for å oppnå et vakuum. Generelt sett er en vakuumpumpe en enhet som bruker ulike metoder for å forbedre, generere og opprettholde et vakuum i et lukket rom.
I henhold til arbeidsprinsippet til vakuumpumper kan vakuumpumper i utgangspunktet deles inn i to typer, nemlig gassfangstpumper og gassoverføringspumper. Det er mye brukt i metallurgi, kjemisk industri, mat, elektronisk belegg og andre næringer.
De to rotorene til vakuumpumpen er relativt synkronisert med et par høypresisjonsgir. Drivakselen er koblet til motoren gjennom en kobling. Det er to hovedtyper av drivkonstruksjonsarrangement: den ene er at motoren og giret er plassert på samme side av rotoren som vist på figuren. Den drevne rotoren drives direkte av giret i motorenden. På denne måten er torsjonsdeformasjonen til den drivende rotorakselen liten, og gapet mellom de to rotorene vil ikke endre seg på grunn av den store torsjonsdeformasjonen til drivakselen, slik at gapet mellom rotorene går. Prosessen er jevn. De største ulempene med denne overføringsmetoden er: a. Det er tre lagre på drivakselen, noe som øker pumpens prosess- og monteringsvansker, og demontering og justering av giret er upraktisk; b. Den generelle strukturen er ujevn, og tyngdepunktet til pumpen er forspent til motor- og girkassesiden.
(1) Det er stor pumpehastighet i et bredt trykkområde;
(2) Rotoren har god geometrisk symmetri, så vibrasjonen er liten og driften er stabil. Det er et gap mellom rotorene og mellom rotoren og foringsrøret. Ingen smøring er nødvendig, og friksjonstapet er lite. Kjørekraften kan reduseres kraftig, slik at en kan oppnå høyere hastighet.
(3) Det er ikke nødvendig å forsegle og smøre med olje i pumpehulrommet, noe som kan redusere forurensning av vakuumsystemet med oljedamp;
(4) Det er ingen kompresjon i pumpehulen, og det er ingen eksosventil. Enkel og kompakt struktur, ufølsom for støv og vanndamp i den pumpede gassen;
(5) Kompresjonen er relativt lav, og effekten av å pumpe hydrogengass er dårlig;
(6) Rotorens overflate er en mer kompleks buet sylindrisk overflate, som er vanskelig å behandle og inspisere.